可靠性预测与评估实验室

Dynacool综合物性测试系统(PPMS)

X射线衍射(XRD)

扫描电子显微镜(SEM)

原子力显微镜(AFM)

X射线光电子能谱仪(XPS)

拉曼光谱仪

显微光致发光光谱仪

微米与纳米流体力学研究中心

航空航天微纳器件制备和检测平台

微纳光电信息系统理论与技术工业和信息化部重点实验室

微型光电器件工程实验室